ATOS电磁阀杆与填料、阀芯与阀座以及执行机构的卡塞。
（1）阀杆密封填料压装过紧，引起阀杆运行阻力增大。由于数控加工精度的提高，阀杆表面的光洁度很高，填料过紧增大了阀杆与填料间的阻力，在预紧弹簧回位时引起超调，进而引起阀门长周期振动（振动周期一般大于30s）。
（2）对弹簧预紧的填料函采用不合理的方法调整填料压盖，造成阀杆运行阻力增大、预紧弹簧或填料损坏。
（3）低温阀门未采用与其相应的填料，造成摩擦阻力增大。
（4）阀杆变形或填料压盖错位，引起阀杆摩擦填料压盖，造成运行阻力增大，同时引起填料加速磨损造成介质泄漏。阀杆变形通常有2种原因。①正作用执行机构由于气源压力设定值超过阀门标称值，推力过大造成阀杆变形。②操作阀门手动机构时用力过大引起阀杆变形。
（5）填料函进入异物卡塞，造成阀杆运行阻力增大。异物有阀杆不洁净运行过程中带入的粉尘、铁锈或雨雪等。另外，由于冷箱或管线漏冷严重，使阀杆处结冰，冰又通过阀杆移动带入填料函。
（6）阀芯内部卡塞，主要原因有导向套部分卡塞（部分厂家叫无油轴承），介质在阀内结晶或结垢，阀腔内有异物等。由于吹扫不干净，设备腐蚀，管道或容器内部件脱落等原因造成阀腔内有异物存在。
（7）执行机构卡塞，主要原因有弹簧断裂或叠压，双齿条执行机构齿牙磨损，执行机构限位螺钉或限位盘等部件脱落。
ATOS电磁阀振动是阀门运行中较难处理的故障之一。振动不仅加速调节阀的损坏，也对产品质量和安全生产造成影响。本文结合智能定位器的研究，给出现场处理振动问题的注意事项和方法。
执行机构漏气
ATOS电磁阀由于漏气使实际阀位偏离给定阀位，造成伺服放大器反复充气，使阀门不能稳定在给定阀位，造成阀门振动。
ATOS电磁阀气动薄膜执行机构
气动薄膜执行机构的膜片破损，推杆与弹簧托盘松动，O形圈破损，反作用执行机构推杆与下膜盖之间的密封漏气，通常为V形密封圈磨损，顶装手轮机构上膜盖密封漏气。
（2）直行程气缸执行机构
直行程气缸执行机构（包含用于拨叉式角行程执行机构）的活塞密封圈漏气（窜缸漏气），活塞缸盖密封漏气，限位螺钉密封组件漏气，输出轴与缸盖间密封漏气。
（3）双齿条结构角行程执行机构
双齿条结构角行程执行机构的活塞背面密封圈漏气，气缸盖与缸体密封圈漏气，输出轴与缸体连接的上下支撑密封圈漏气，气缸盖上的限位螺钉漏气。
（4）外部附件
外部附件如各定位器输出管线接头漏气，气控增速器或继动器、快排阀、单向调速器和保位阀漏气。
2.2漏气处理
针对不同的漏气现象，采取的处理方法不同。
（1）如果阀门没有严格的开关时间限制，应尽可能减少气动附件和过程接头，如取消快排阀、气控增速器、单向调速器、变径和弯通等附属元件。
（2）定时清扫并加注润滑油，保持推杆、阀杆洁净无锈蚀，镀铬层不起皮，润滑充分，确保密封件不磨损、不漏气。
（3）巡检时，对气动薄膜执行机构的排气口（正作用排气口在下膜盖，反作用在上膜盖）和单作用活塞缸的排气口等部位进行检漏，发现漏气及时进行修复处理。